HORIBA/堀場(chǎng)-液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器的產(chǎn)品詳情：

日本HORIBA LF系列質(zhì)量流量計(jì)是一款專門測(cè)量微小液體的質(zhì)量流量控制器。該系列液體質(zhì)量流量控制器中的流量傳感器由與毛細(xì)管接觸的電子冷卻元件（珀?duì)柼┮约皫讉€(gè)溫度檢測(cè)元件組成。當(dāng)液體流動(dòng)時(shí)，傳感器檢測(cè)對(duì)應(yīng)流量的溫升并以流量顯示，與熱交換不同，這種冷卻方法能夠測(cè)量低沸點(diǎn)液體的流量。此外，該方法還能防止由于二次排放（汽化）的影響而產(chǎn)生的干擾問題，使精確的流量測(cè)量成為可能。

● LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進(jìn)行了流量校正 (請(qǐng)預(yù)先指定所使用的液體)。

● 不能檢測(cè)含有固體物的液體。

● 如果混合液中混合比會(huì)發(fā)生變化時(shí)，請(qǐng)預(yù)先進(jìn)行咨詢。

● LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對(duì)象液體中含有粒子等時(shí)，請(qǐng)?jiān)谝淮味?入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。

● LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以適用到最大值，0.1Pa?s。有關(guān)高粘度的液體請(qǐng)預(yù)先進(jìn)行咨詢。

● 以SEMI E56-1296 為準(zhǔn)。

● 進(jìn)行測(cè)量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在10℃以 內(nèi)；如果高于液體溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在3℃以內(nèi)。

● 粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。

HORIBA/堀場(chǎng)-液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器的產(chǎn)品規(guī)格/型號(hào)：

更多產(chǎn)品：

SEC-N100 系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

流量控制范圍10 SCCM~1000 SLM ，流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執(zhí)行。高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度，配備數(shù)字校正功能，實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)精度全流量范圍快速響應(yīng)：1秒內(nèi)完成全量程配備多氣體/多量程功能，允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_SEC-E40/E40MK3、SEC-E50/E50MK3、SEC-E400X、SEC-E500

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_SEC-405/410、SEC-510、SEC-400MK2/MK3、SEC-500MK2/MK3

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HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_S48-32、S48-28、SEC-N102MGM（MGR）、SEC-N104MGM（MGR）

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_SEC-N105MGM（MGR）、SEC-N106MGM（MGR）、SEC-N107MGM（MGR）、SEC-N170R

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_SEC-Z502X、SEC-Z502MGX、SEC-Z504MGX、SEC-Z507MGX

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_SEC-8400F AMB,MM,MH、HL.HM、SEC-8400D AMB,MM,MH、HL.HM

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_SEC-Z707S、SEC-Z702MGX、SEC-Z704MGX、D502

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_D504、D507、red-y industrial GIC

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_PE-D10、PE-D20、PE-S7、ＣＵ-2130

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_ＣＵ-2140、MU-2200 、MU-2200 、MU-3000

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_MF-FP10N、MF-FS10N、MF-FA10N、（500L/min/1000L/min）

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_red-y compact Series、GCM、GCR、PV-1000（MO/MC）

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_PV-2000（MO/MC）、PCU-2100、EC-5104、EC-5105

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_EC-5202、UR-Z7□2M（-B）、UR-Z7□4M（-B）、GR-312F

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_GR-314F、GR-317F（-EPV）、 LD05/LD10/LD20、 LW5/LW10/LW20

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_ LM05/LM10、 LM05W/LM10W、XF-122 XF-127、XF-132 XF-137

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_XF-124、XF-134、LF-F□0M-A、LV-F□0PO LV-F□04PO

HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_LV-F□0MO LV-F□04MO、LSC Series、VC-1420＋SEF、MV-2000+XF

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HORIBA堀場(chǎng)_流量計(jì)&配件_EV-140C、IT-470F-H

• SEC-E40質(zhì)量流量控制器